ITO導(dǎo)電膜玻璃
氧化銦錫(Indium-Tin Oxide)透明導(dǎo)電膜玻璃,多通過(guò)ITO導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)線(xiàn),在高度凈化的廠房環(huán)境中,利用平面磁控技術(shù),在超薄玻璃上濺射氧化銦錫導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。
產(chǎn)品廣泛地用于液晶顯示器(LCD)、太陽(yáng)能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。
ITO導(dǎo)電膜的主要參數(shù)有:表面電阻、表面電阻的均勻性、透光率、熱穩(wěn)定性、加熱收縮率、加熱卷曲等。其中光透過(guò)率主要與ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面電阻有關(guān)。在基底材料相同的情況下,ITO膜的表面電阻越小,ITO膜層的厚度越大,光透過(guò)率相應(yīng)的會(huì)有一定程度的減小。
透明導(dǎo)電氧化膜TCO中,以摻Sn的In2O3(ITO)膜的透過(guò)率最高和導(dǎo)電性能最好,而且容易在酸液中蝕刻出細(xì)微的圖形,其中透光率達(dá)90%以上。ITO中其透光率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例來(lái)控制,通常Sn2O3:In2O3=1:9。
以下是兩種不同的ITO導(dǎo)電膜的參數(shù):
高阻抗ITO導(dǎo)電膜(PET-ITO)
高阻抗ITO導(dǎo)電薄膜PET-ITO主要應(yīng)用于移動(dòng)通訊領(lǐng)域的觸摸屏生產(chǎn)。
產(chǎn)品參數(shù):
面電阻:300~500 Ω/□
面電阻均勻性:MD≤±3%,TD≤±6%
ITO薄膜厚度:0.188±10%
線(xiàn)性度(MD):≤1.5%
全光線(xiàn)透過(guò)率:≥86%
表面硬度(鉛筆硬度):≥3H
熱穩(wěn)定性:(R-R0)/R: ±20%
熱收縮率:MD≤1.0%,TD≤0.8%
加熱卷曲:≤10mm
低阻抗柔性ITO導(dǎo)電膜(PET-ITO)
適用于柔性電致變色器件、柔性薄膜太陽(yáng)能電池、柔性EL發(fā)光器件的制備和生產(chǎn)。
薄膜厚度:0.175±10 mm
霧度:<2%
寬度:406/360±2 mm
粘附:100/100
卷曲:≤10 mm
透過(guò)率:≥ 80%
表面電阻:90±15 Ω/□
面電阻均勻性:<7%
熱收縮:MD≤1.3,TD≤1.0
熱穩(wěn)定性:
高溫:80oC,120hr ≤1.3
低溫:-40oC,120hr ≤1.3
熱循環(huán):-30oC—80oC ≤1.3
熱/濕度: 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3